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薄膜处理设备
Abstract:
本发明公开了薄膜处理设备,包括:加工壳体(12),其以与水平成至多20°的倾斜度定向,具有可加热和/或可冷却的壳体外壳(14);入口喷嘴(20),其布置在加工壳体(12)的入口区域(18)中;出口喷嘴(24),其布置在加工壳体(12)的出口区域(22)中;以及可驱动的转子轴(44),其布置在材料处理空间(160)中并且同轴地延伸,用于在壳体外壳的内表面(15)上产生材料膜并且用于朝向出口区域(22)输送材料。根据本发明的转子轴(44)包括布置在转子轴主体(50)上的至少一个提升元件(56),所述提升元件被设计为使得在转子轴(44)的旋转期间朝向转子轴主体(50)产生提升力。
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