电磁微镜及激光设备
Abstract:
本申请提供一种电磁微镜及激光设备。磁微镜包括微镜芯片及磁体装置。微镜芯片包括支撑框架、微镜、三个悬臂及至少三个线圈。微镜通过三个悬臂与支撑框架连接。至少三个线圈设于微镜或者三个悬臂上。每个悬臂对应至少一个线圈设置。磁体装置用于产生磁场。线圈在通电时产生的磁场与磁体装置产生的磁场相互作用,使得微镜相对支撑框架转动。由于微镜通过三个悬臂直接与支撑框架活动连接,减少了振动部分的等效质量,从而提高了微镜的谐振频率。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0