RH真空精炼系统及其使用方法
Abstract:
本发明涉及一种RH真空精炼系统,其机械真空泵机组包括串联布置于抽气主管上的三级罗茨泵单元和水环真空泵单元,第一级罗茨泵单元与RH真空室连接并且于二者之间的抽气主管上设有真空主阀,前三级罗茨泵单元均包括至少一个罗茨泵,水环真空泵单元包括至少一个水环真空泵。另外还涉及该RH真空精炼系统的使用方法。本发明采用水环真空泵替代传统的螺杆泵,由于水环真空泵可直排大气且具有很大的抽气能力,当真空室压力降到设定值之后再启动第三级罗茨泵,能有效降低罗茨泵的进气口和出气口压差,有效解决罗茨泵发热卡阻的问题。另外,采用水环真空泵替代螺杆泵,前三级罗茨泵均可采用国产泵,可显著地降低投资成本和维护成本。
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