一种大面积高均匀性主动冷却的级联弧阴极结构
Abstract:
本发明公开了一种大面积高均匀性主动冷却的级联弧阴极结构,包括有阴极基板,在阴极基板的两端分别设有水冷入口和水冷出口,在阴极基板的内部设有连接水冷入口和水冷出口的蛇形水冷管道,在阴极基板的背面密封连接有气体缓冲腔,在阴极基板的正面上固定安装有多个电极针尖,在每个电极针尖的四周均开有多个阴极板出气孔,阴极板出气孔与所述的气体缓冲腔相通,所述的阴极基板内部的蛇形水冷管道与阴极板出气孔位置错开。本发明具有以下优点:1.获得大面积的等离子体;2.等离子体具有较高的均匀性;3.放电过程稳定;4.阴极降温效率高,提高阴极的使用寿命。4.电极针尖可拆卸结构,具有良好的经济性。
Patent Agency Ranking
0/0