Invention Publication
- Patent Title: 一种大面积高均匀性主动冷却的级联弧阴极结构
- Patent Title (English): Large-area high-uniformity active cooling cascaded arc cathode structure
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Application No.: CN201910636462.5Application Date: 2019-07-15
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Publication No.: CN110402010APublication Date: 2019-11-01
- Inventor: 周海山 , 袁小刚 , 李波 , 罗广南 , 杨鑫
- Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Applicant Address: 安徽省合肥市蜀山湖路350号
- Assignee: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Current Assignee: 中国科学院合肥物质科学研究院
- Current Assignee Address: 安徽省合肥市蜀山湖路350号
- Agency: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司
- Agent 张果果
- Main IPC: H05H1/48
- IPC: H05H1/48

Abstract:
本发明公开了一种大面积高均匀性主动冷却的级联弧阴极结构,包括有阴极基板,在阴极基板的两端分别设有水冷入口和水冷出口,在阴极基板的内部设有连接水冷入口和水冷出口的蛇形水冷管道,在阴极基板的背面密封连接有气体缓冲腔,在阴极基板的正面上固定安装有多个电极针尖,在每个电极针尖的四周均开有多个阴极板出气孔,阴极板出气孔与所述的气体缓冲腔相通,所述的阴极基板内部的蛇形水冷管道与阴极板出气孔位置错开。本发明具有以下优点:1.获得大面积的等离子体;2.等离子体具有较高的均匀性;3.放电过程稳定;4.阴极降温效率高,提高阴极的使用寿命。4.电极针尖可拆卸结构,具有良好的经济性。
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