一种由辐射束引起气相化学反应而产生质粒，尤其是纳米质粒装置。辐射束包括电磁辐射或激光束。该装置包括一反应室(102)和一导入辐射的窗(242)和狭长的一反应物入口(164)。所说的反应室结构与狭长反应物入口相一致，可在反应物气流两侧引入保护气体以惰性气体罩防止反应气体和产品质粒冲击室壁和光学部件。该装置还包括一高温计(302)以监测反应物的热发射，一质粒尺寸分析器(400)和一计算机(108)，有一压力传感器(304)的反馈回路可用以维持反应室的压力。