一种多晶硅还原炉电极
Abstract:
本发明涉及一种多晶硅还原炉电极,包括能与石墨座锥孔配合的锥头及与锥头固定连接的电极体,将锥头一端称为上端,另一端称为下端,其特征在于,还包括陶瓷套筒,所述陶瓷套筒同轴套设在所述电极体上并且其上端与所述锥头密封连接,所述电极体中心设置有上端封闭的空腔并且在靠近上端处的侧壁上周向布置有若干通孔,冷却水从所述空腔的下端进入经由所述通孔从所述电极体与所述陶瓷套筒之间的间隙流出。由于冷却水可以从内壁和外壁对电极体进行冷却,因此提高了冷却效率,延长了电极的使用寿命;由于采用陶瓷套筒,使得电极体与炉体良好绝缘,因此杜绝了触电危险。
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