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光伏多晶电池制备工艺方法
Abstract:
本发明公开了一种光伏多晶电池制备工艺方法,包括如下步骤:先将多晶硅片依次进行清洗制绒、扩散制结和湿法刻蚀操作;将湿法刻蚀后的多晶硅片放进热氧化设备中,进行制备,使多晶硅片表面形成氧化层膜;采用镀膜设备,在上一步骤中形成的氧化层膜基础上,沉积多层减反射薄膜;将从上一步骤中所得的多晶硅片,进行印刷电极和烧结处理,并制成光伏多晶电池片;将上一步骤中制成的光伏多晶电池片经过电注入设备处理;将经电注入处理后的光伏多晶电池片,进行电性能效率以及光衰数据测试。本发明具有能够提高光伏多晶电池转换效率的特点。
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