一种磁控溅射法制备(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层的方法及其应用
Abstract:
本发明涉及(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层的制备领域,具体涉及一种磁控溅射法制备(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层的方法及其应用,具体制备步骤如下:(1)预处理及预氧化处理;(2)溅射沉积,获得合金涂层;(3)热转化,获得尖晶石涂层。该方法具有操作工艺简单,沉积速率快等特点,所制备的尖晶石涂层致密,并且于基体结合力良好,具有优良的长期抗高温氧化性能及导电性,能有效抑制基体Cr的外扩散。
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