Invention Grant
- Patent Title: 硬掩模用组合物
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Application No.: CN201810130569.8Application Date: 2018-02-08
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Publication No.: CN108427246BPublication Date: 2022-01-04
- Inventor: 梁敦植 , 梁振锡 , 朴根永 , 崔汉永 , 崔相俊
- Applicant: 东友精细化工有限公司 , 崔相俊
- Applicant Address: 韩国全罗北道;
- Assignee: 东友精细化工有限公司,崔相俊
- Current Assignee: 东友精细化工有限公司,崔相俊
- Current Assignee Address: 韩国全罗北道;
- Agency: 北京银龙知识产权代理有限公司
- Agent 钟晶; 钟海胜
- Priority: 10-2017-0020664 20170215 KR
- Main IPC: G03F7/11
- IPC: G03F7/11
Abstract:
本发明涉及一种硬掩模用组合物，其通过包含碳原子数6～35的芳香族化合物与下述化学式1的化合物的聚合物、以及溶剂，从而能够形成平坦性、溶解性和耐蚀刻性同时提高的硬掩模。下述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～8的烷基，彼此可以连接而形成环，烷基可以在主链上进一步包含一个以上的氧原子，Ar为来源于碳原子数6～20的芳香族化合物的官能团。
Public/Granted literature
- CN108427246A 硬掩模用组合物 Public/Granted day:2018-08-21
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IPC分类:
