膜构件和用于形成膜构件的方法
Abstract:
膜构件包括具有导电膜层的膜结构。导电膜层具有悬置区域和膜区域。另外,导电膜层的悬置区域布置在绝缘层上。此外,绝缘层布置在承载基体上。此外,膜构件包括对电极结构。在对电极结构和导电膜层的膜区域之间垂直地布置有空腔。此外,所述导电膜层的边缘以在所述导电膜层和所述对电极结构之间的垂直距离一半以上为幅度横向突出超过所述绝缘层的边缘。此外,所述导电膜层吸收在所述导电膜层的膜区域偏移时而施加在所述膜结构上的90%以上的力。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0