Invention Publication
CN107924991A 层及其制造方法
无效 - 撤回
- Patent Title: 层及其制造方法
- Patent Title (English): LAYER AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
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Application No.: CN201680048956.6Application Date: 2016-08-26
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Publication No.: CN107924991APublication Date: 2018-04-17
- Inventor: H-J.施赖纳 , T.艾因黑林格-米勒 , T.施密德 , R.莫斯 , M.舒伯特
- Applicant: 陶瓷技术有限责任公司
- Applicant Address: 德国普洛兴根
- Assignee: 陶瓷技术有限责任公司
- Current Assignee: 陶瓷技术有限责任公司
- Current Assignee Address: 德国普洛兴根
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 邵长准; 鲁炜
- Priority: 102015216312.1 2015.08.26 DE
- International Application: PCT/EP2016/070162 2016.08.26
- International Announcement: WO2017/036945 DE 2017.03.09
- Date entered country: 2018-02-23
- Main IPC: H01L41/314
- IPC: H01L41/314
Abstract:
本发明涉及具有压电特性的层和具有压电特性的层的制造方法，特别是借助于气溶胶沉积方法（ADM-方法）。
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IPC分类:
