Invention Grant
- Patent Title: 光学系统
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Application No.: CN201680035728.5Application Date: 2016-06-17
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Publication No.: CN107820577BPublication Date: 2022-02-15
- Inventor: R.弗赖曼 , J.拜耳 , S.弗里切
- Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- Applicant Address: 德国上科亨
- Assignee: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- Current Assignee: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- Current Assignee Address: 德国上科亨
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 邱军; 王蕊瑞
- Priority: 102015211286.1 20150618 DE
- International Application: PCT/EP2016/064086 2016.06.17
- International Announcement: WO2016/203020 DE 2016.12.22
- Date entered country: 2017-12-18
- Main IPC: G02B7/182
- IPC: G02B7/182 ; G03F7/20

Abstract:
所公开的是一种光学系统(200),其包括:第一光学控制回路(233a),其配置为调节第一光学元件(124)相对于第一模块传感器框架(208a)的位置和/或对准;以及第一模块控制回路(216a),其配置为调节第一模块传感器框架(208a)相对于主传感器框架(204)的位置和/或对准;和/或第二光学控制回路(233b),其配置为调节第二光学元件(126)相对于第二模块传感器框架(208b)的位置和/或对准;以及第二模块控制回路(216b),其配置为调节第二模块传感器框架(208b)相对于主传感器框架(204)的位置和/或对准。
Public/Granted literature
- CN107820577A 光学系统 Public/Granted day:2018-03-20
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