本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含含有选自由下述化学式1‑1和1‑2组成的组中的至少一种重复单元的共聚物和溶剂。下述化学式1‑1中，Ar1和Ar2各自独立地为碳原子数6～30的二价芳烃基，R1为碳原子数1～6的烷基或碳原子数6～35的芳基，Ar1、Ar2和R1各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，n为1～190的整数；下述化学式1‑2中，Ar1和Ar2各自独立地为碳原子数6～30的二价芳烃基，R2为氢原子或碳原子数1～6的烷基，Ar1和Ar2各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，n为1～190的整数。