Invention Publication
- Patent Title: 具有熔融温度大于260 摄氏度并包括银和锡组成的金属间化合物或铜和锡组成的金属间化合物的金属间化合物层的半导体封装件及相应制造方法
- Patent Title (English): Semiconductor packages with an intermetallic layer having a melting temperature above 260 DEG C, comprising an intermetallic consisting of silver and tin or an intermetallic consisting of copper and tin, and corresponding manufacturing methods
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Application No.: CN201580074691.2Application Date: 2015-12-08
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Publication No.: CN107210237APublication Date: 2017-09-26
- Inventor: M·J·塞登 , F·J·卡尼
- Applicant: 半导体元件工业有限责任公司
- Applicant Address: 美国亚利桑那
- Assignee: 半导体元件工业有限责任公司
- Current Assignee: 半导体元件工业有限责任公司
- Current Assignee Address: 美国亚利桑那
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 秦晨
- Priority: 14/606,667 20150127 US
- International Application: PCT/US2015/064521 2015.12.08
- International Announcement: WO2016/122776 EN 2016.08.04
- Date entered country: 2017-07-27
- Main IPC: H01L21/60
- IPC: H01L21/60 ; H01L21/683 ; H01L23/482

Abstract:
提供了形成半导体封装件的方法。具体实施方式包括在管芯背面(16)形成具有多个子层(40‑46)的中间金属层(26),每个子层包含金属,所述金属选自钛、镍、铜、银、以及它们的组合。将锡层(48)沉积到所述中间金属层(26)上,然后与衬底(50)的银层(52)一起进行回流焊以形成熔融温度大于260摄氏度并包括银和锡组成的金属间化合物和/或铜和锡组成的金属间化合物的金属间化合物层(56)。形成半导体封装件的另一种方法包括在管芯(14)的顶侧(18)上的多个裸露焊盘(20)中的每个裸露焊盘上形成凸块(22),每个裸露焊盘(20)由钝化层(24)所包围,每个凸块(22)包括如上所述的中间金属层(36)和耦接到所述中间金属层(36)的锡层(48),锡层(48)然后被以衬底(50)的银层(52)回流焊以形成如上所述的金属间化合物层(64)。
Public/Granted literature
- CN107210237B 半导体封装件 Public/Granted day:2021-07-06
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