一种基于钛金属化学性质的惰性气体在线净化方法
Abstract:
本发明属于惰性气体净化领域,尤其涉及一种基于钛金属化学性质的高纯度惰性气体在线净化方法。其特点是利用钛金属在高温与低温状态下化学特性的差异对惰性气体进行净化并同时避免常规惰性气体净化方法所可能导致的活性物质的引入问题。
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