Invention Grant
- Patent Title: 非接触硅基光电器件少数载流子寿命检测仪及检测方法
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Application No.: CN201610537029.2Application Date: 2016-07-08
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Publication No.: CN106199368BPublication Date: 2022-11-25
- Inventor: 黄帆 , 许明 , 初宁 , 邹诚 , 韩捷飞
- Applicant: 超视界激光科技(苏州)有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市相城区高铁新城南天成路58号
- Assignee: 超视界激光科技(苏州)有限公司
- Current Assignee: 超视界激光科技(苏州)有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市相城区高铁新城南天成路58号
- Agency: 苏州威世朋知识产权代理事务所
- Agent 杨林洁
- Main IPC: G01R31/26
- IPC: G01R31/26

Abstract:
本发明涉及一种非接触硅基光电器件少数载流子寿命检测仪及检测方法,包括放置台、光源、探测器、信号放大器、锁相放大器、处理控制单元、函数发生器,函数发生器与电光源连接,当硅基光电器件放置于放置台上时,硅基光电器件位于光源与探测器之间。光源激发硅基光电器件发荧光,通过探测器多点探测接收硅基光电器件另一侧的荧光并转为电信号,通过信号放大器、锁相放大器得到荧光的幅值及荧光与光源的相位差,处理控制单元计算输出少数载流子寿命分布图。在更换不同规格的硅基光电器件时不需要进行校准,将硅基光电器件置于光源与探测器之间,减少光源对检测的影响,提高测量的准确性,通过多点式的探测,方便得到少数载流子寿命的分布图。
Public/Granted literature
- CN106199368A 非接触硅基光电器件少数载流子寿命检测仪及检测方法 Public/Granted day:2016-12-07
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