一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法
Abstract:
本发明公开了一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法。包括以下步骤:步骤S100:用多弧离子镀设备进行离子增强渗氮,渗氮时,气体压力选择0.5‑5pa,氮气流量20‑200sccm,灯丝电流为40‑60A,灯丝电源电压为20V‑100V,灯丝电源电流为10A‑50A,工件偏压为300‑1000V,根据渗氮层深度的需求,渗氮时间0.5‑5小时,渗氮深度为10‑50微米,显微硬度约为hv1000;步骤S200:渗氮结束后,直接在工件涂层,涂层时弧流30‑80A,工件偏压为0‑100V,根据厚度需求,涂层时间为20min‑100min,涂层厚度为0.5‑3微米。
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