Invention Publication
- Patent Title: 一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法
- Patent Title (English): Integrated compound method for preparing DLC through ion nitriding and electric arc ion plating
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Application No.: CN201610521966.9Application Date: 2016-07-05
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Publication No.: CN106048512APublication Date: 2016-10-26
- Inventor: 卢国英 , 石昌仑 , 石武昌 , 兰睿
- Applicant: 常州夸克涂层科技有限公司
- Applicant Address: 江苏省常州市武进区常州科教城大连理工常州研究院C104室
- Assignee: 常州夸克涂层科技有限公司
- Current Assignee: 常州夸克涂层科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省常州市武进区常州科教城大连理工常州研究院C104室
- Agency: 大连理工大学专利中心
- Agent 梅洪玉
- Main IPC: C23C8/36
- IPC: C23C8/36 ; C23C14/02 ; C23C14/06 ; C23C14/32

Abstract:
本发明公开了一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法。包括以下步骤:步骤S100:用多弧离子镀设备进行离子增强渗氮,渗氮时,气体压力选择0.5‑5pa,氮气流量20‑200sccm,灯丝电流为40‑60A,灯丝电源电压为20V‑100V,灯丝电源电流为10A‑50A,工件偏压为300‑1000V,根据渗氮层深度的需求,渗氮时间0.5‑5小时,渗氮深度为10‑50微米,显微硬度约为hv1000;步骤S200:渗氮结束后,直接在工件涂层,涂层时弧流30‑80A,工件偏压为0‑100V,根据厚度需求,涂层时间为20min‑100min,涂层厚度为0.5‑3微米。
Public/Granted literature
- CN106048512B 一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法 Public/Granted day:2019-04-12
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IPC分类: