具有脱耦结构的传感器单元及其制造方法
Abstract:
本发明提出一种传感器单元,其具有第一半导体器件和第二半导体器件,其中,所述第一半导体器件具有第一衬底和传感器结构,其中,所述第二半导体器件具有第二衬底,其中,所述第一和第二半导体器件通过晶圆连接部彼此连接,其中,所述传感器单元具有脱耦结构,该脱耦结构配置为,使得所述传感器结构热机械地和/或机械地与所述第二半导体器件脱耦。
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