Invention Publication
- Patent Title: 一种用于研究或改变在真空或保护气体中的样品表面的装置
- Patent Title (English): INSTALLATION FOR STUDY OR TRANSFORMATION OF SURFACE OF SAMPLES PLACED IN VACUUM OR IN CONTROLLED ATMOSPHERE
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Application No.: CN91103772.1Application Date: 1991-05-10
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Publication No.: CN1057363APublication Date: 1991-12-25
- Inventor: 古道内·让-彼埃尔 , 拉克鲁特·伊冯
- Applicant: 斯皮拉尔研究发展公司
- Applicant Address: 法国库泰尔诺恩
- Assignee: 斯皮拉尔研究发展公司
- Current Assignee: 斯皮拉尔研究发展公司
- Current Assignee Address: 法国库泰尔诺恩
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利代理部
- Agent 乔晓东
- Priority: 9005823 1990.05.10 FR
- Main IPC: H01J37/20
- IPC: H01J37/20 ; H01J37/26 ; G01J3/00 ; G01B9/04
Abstract:
本发明涉及一种用于研究放置在真空或在保护气体中的样品表面的装置。其结构包括一个主工作室，在该室中置有一个用于安装至少一个称为SXM部件的支承平板，该部件是借助于电或光导探针，利用对样品表面扫描来进行样品表面的显微检查，光谱分析或蚀刻。所述装置特征在于，支承平板能够从工作室中卸下，并且围绕中轴自行旋转，使得允许使用装在所述平板周边上的一套SXM部件。它应用于扫描隧道显微检查和/或光谱分析或利用光和/或电子微刻处理。
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