Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶及其制造方法
Abstract:
一种Co‑Cr‑Pt‑B型合金溅射靶,其特征在于,100μm×100μm面积(视野)内的富B相中的0.1~20μm的裂纹数为10个以下。一种Co‑Cr‑Pt‑B型合金溅射靶的制造方法,其特征在于,对Co‑Cr‑Pt‑B型合金铸锭进行热锻或热轧后,进行伸长率为4%以下的冷轧或冷锻,进行机械加工而制成靶,使100μm×100μm面积(视野)内的富B相中的0.1~20μm的裂纹数为10个以下,或者,对上述铸锭进行热锻或热轧后,骤冷至‑196℃~100℃,进行机械加工而制成靶。本发明的靶的漏磁通密度高且富B层中微裂纹少,因此,能够稳定地放电,抑制电弧。
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