Invention Grant
- Patent Title: Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶及其制造方法
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Application No.: CN201510684504.4Application Date: 2012-05-22
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Publication No.: CN105239042BPublication Date: 2019-07-05
- Inventor: 森下雄斗 , 荻野真一 , 中村祐一郎
- Applicant: 吉坤日矿日石金属株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 吉坤日矿日石金属株式会社
- Current Assignee: 吉坤日矿日石金属株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 胡嵩麟; 王海川
- Priority: 2011-145999 20110630 JP
- Main IPC: C23C14/34
- IPC: C23C14/34 ; C22C19/07 ; C22C30/00 ; C22C30/02 ; C22F1/10 ; C22F1/16 ; C22F1/00

Abstract:
一种Co‑Cr‑Pt‑B型合金溅射靶,其特征在于,100μm×100μm面积(视野)内的富B相中的0.1~20μm的裂纹数为10个以下。一种Co‑Cr‑Pt‑B型合金溅射靶的制造方法,其特征在于,对Co‑Cr‑Pt‑B型合金铸锭进行热锻或热轧后,进行伸长率为4%以下的冷轧或冷锻,进行机械加工而制成靶,使100μm×100μm面积(视野)内的富B相中的0.1~20μm的裂纹数为10个以下,或者,对上述铸锭进行热锻或热轧后,骤冷至‑196℃~100℃,进行机械加工而制成靶。本发明的靶的漏磁通密度高且富B层中微裂纹少,因此,能够稳定地放电,抑制电弧。
Public/Granted literature
- CN105239042A Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶及其制造方法 Public/Granted day:2016-01-13
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IPC分类: