Invention Grant
- Patent Title: 用于气相传输沉积系统的给料器系统和给料方法
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Application No.: CN201280053651.6Application Date: 2012-08-22
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Publication No.: CN104024469BPublication Date: 2017-05-03
- Inventor: 熊刚 , 廖峰 , 瑞克·C·鲍威尔
- Applicant: 第一太阳能有限公司
- Applicant Address: 美国俄亥俄州佩里斯堡
- Assignee: 第一太阳能有限公司
- Current Assignee: 第一太阳能有限公司
- Current Assignee Address: 美国俄亥俄州佩里斯堡
- Agency: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- Agent 韩芳; 王秀君
- Priority: 61/530,655 20110902 US
- International Application: PCT/US2012/051821 2012.08.22
- International Announcement: WO2013/032801 EN 2013.03.07
- Date entered country: 2014-04-28
- Main IPC: C23C14/22
- IPC: C23C14/22
Abstract:
一种改进了的用于气相传输沉积系统的给料器系统和给料方法，其包括载气旁路流线，以在将粉末材料和载气供应至蒸发器单元的振动单元不能工作时使载气连续地流至蒸发器单元。当粉末材料包括材料混合物中的粉末掺杂剂时，可以包括到达振动单元的工艺气体流线。
Public/Granted literature
- CN104024469A 用于气相传输沉积系统的给料器系统和给料方法 Public/Granted day:2014-09-03
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IPC分类:
