柔性基底上溅射二氧化钛纳米棒阵列的制备方法
Abstract:
本发明公开一种柔性基底上溅射二氧化钛纳米棒阵列的制备方法,包括柔性基底清洗:依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗;基底溅射:采用直流溅射钛靶,溅射气体为纯氩气和纯氧气;后续溅射:继续进行直流溅射,溅射气体不变。该方法操作简便,且获得的纳米棒阵列的厚度可以通过磁控溅射的时间和温度进行控制,产物性质稳定,成膜均匀,可用于大面积制备,适用于工业化生产。
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