用于制备包含多孔层的窗玻璃的方法
Abstract:
本发明涉及用于制备包含基材,特别地玻璃基材的窗玻璃的方法,该基材被提供有包含至少一个由多孔材料组成的层的涂层,特别地其中该由多孔材料组成的层的折光指数因此由此被降低,该方法包括以下步骤:经由在真空腔室中物理气相沉积方法PVD在基材上沉积涂层,该涂层包括含至少一种选自Si、Ti、Sn、Al、Zr、In的元素或者这些元素的至少两种的混合物,氧和碳的材料的层,所述层任选地还包含氢;在能够除去至少一部分碳和获得所述多孔材料层的条件下,热处理如此沉积的层,所述方法特征在于在所述腔室中行进的基材上通过碳靶的阴极溅射在包含所述一种或多种元素的至少一种前体的反应性,优选氧化性等离子体气氛中进行实施所述沉积。
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