Invention Grant
- Patent Title: 紫外光产生用靶、电子射线激励紫外光源、以及紫外光产生用靶的制造方法
- Patent Title (English): Ultraviolet light generating target, electron-beam-excited ultraviolet light source, and method for producing ultraviolet light generating target
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Application No.: CN201280020390.8Application Date: 2012-04-24
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Publication No.: CN103502391BPublication Date: 2015-06-10
- Inventor: 本多庆范 , 福世文嗣 , 铃木孝 , 市川典男 , 服部刚明 , 河合浩司 , 楚树成
- Applicant: 浜松光子学株式会社
- Applicant Address: 日本静冈县
- Assignee: 浜松光子学株式会社
- Current Assignee: 浜松光子学株式会社
- Current Assignee Address: 日本静冈县
- Agency: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- Agent 杨琦
- Priority: 2011-097260 2011.04.25 JP
- International Application: PCT/JP2012/060975 2012.04.24
- International Announcement: WO2012/147743 JA 2012.11.01
- Date entered country: 2013-10-25
- Main IPC: C09K11/80
- IPC: C09K11/80 ; H01J63/06
Abstract:
本发明提供一种紫外光产生用靶（20），具备：由蓝宝石、石英或水晶构成的基板（21）、以及设置在基板（21）上并接受电子射线而产生紫外光的Pr︰LuAG多晶膜（22）。通过将Pr︰LuAG多晶膜用作靶，与使用Pr︰LuAG单晶膜的情况相比能够更显著地提高紫外光产生效率。
Public/Granted literature
- CN103502391A 紫外光产生用靶、电子射线激励紫外光源、以及紫外光产生用靶的制造方法 Public/Granted day:2014-01-08
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