Invention Publication
- Patent Title: 由固体材料制备化合物或其中间体以及使用该化合物和中间体的设备和方法
- Patent Title (English): Apparatus and method for preparation of compounds or intermediates thereof from a solid material, and using such compounds and intermediates
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Application No.: CN201180052929.3Application Date: 2011-08-28
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Publication No.: CN103201824APublication Date: 2013-07-10
- Inventor: O·比尔 , E·E·琼斯 , C·派迪 , J·D·斯威尼
- Applicant: 先进技术材料股份有限公司
- Applicant Address: 美国康涅狄格州
- Assignee: 先进技术材料股份有限公司
- Current Assignee: 恩特格里斯公司
- Current Assignee Address: 美国康涅狄格州
- Agency: 北京北翔知识产权代理有限公司
- Agent 苏萌; 钟守期
- Priority: 61/378,375 2010.08.30 US
- International Application: PCT/US2011/049473 2011.08.28
- International Announcement: WO2012/030679 EN 2012.03.08
- Date entered country: 2013-05-02
- Main IPC: H01L21/265
- IPC: H01L21/265

Abstract:
描述了一种设备,包括反应区,用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触,和开口,用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应可在第一反应区进行,而反应物气体与中间产物的反应在第二反应区进行。在具体实施中,反应物气体与中间产物的反应是可逆的,且反应物气体和中间产物以受控速率或以受控方式流入第二反应区,从而抑制形成反应性固体的逆反应。
Public/Granted literature
- CN103201824B 由固体材料制备化合物或其中间体以及使用该化合物和中间体的设备和方法 Public/Granted day:2016-09-07
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IPC分类: