Invention Grant
CN103149807B 照明光学装置、曝光装置及元件制造方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 照明光学装置、曝光装置及元件制造方法
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Application No.: CN201310052891.0Application Date: 2008-10-10
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Publication No.: CN103149807BPublication Date: 2016-04-06
- Inventor: 广田弘之
- Applicant: 株式会社尼康
- Applicant Address: 日本东京千代田区有乐町一丁目12番1号
- Assignee: 株式会社尼康
- Current Assignee: 株式会社尼康
- Current Assignee Address: 日本东京千代田区有乐町一丁目12番1号
- Agency: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
- Agent 寿宁
- Priority: 2007-266691 2007.10.12 JP
- The original application number of the division: 2008800155679 2008.10.10
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20
Abstract:
照明光学装置（13）将输出自曝光用光源（12）的曝光用光（EL）导向被照射物体（R）。照明光学装置(13)具备排列成矩阵状的多个空间光调变构件(22)，各空间光调变构件(22)将具有可动反射面的多个反射光学元件排列成矩阵状而分别构成。又，各空间光调变构件中的至少1个配置在从光源输出的光的光路内。
Public/Granted literature
- CN103149807A 照明光学装置、曝光装置及元件制造方法 Public/Granted day:2013-06-12
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IPC分类:
