Invention Grant
- Patent Title: 微透镜阵列及其制作方法
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Application No.: CN201210333616.1Application Date: 2012-09-10
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Publication No.: CN103022063BPublication Date: 2015-09-09
- Inventor: 曼弗雷德·恩格尔哈德特
- Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
- Applicant Address: 德国瑙伊比贝尔格市
- Assignee: 英飞凌科技股份有限公司
- Current Assignee: 英飞凌科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 德国瑙伊比贝尔格市
- Agency: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- Agent 余刚; 吴孟秋
- Priority: 13/235,707 2011.09.19 US
- Main IPC: H01L27/146
- IPC: H01L27/146 ; G02B3/00
Abstract:
本发明提供了微透镜阵列及其制作方法。该方法包括在衬底上形成第一透镜材料结构。第一透镜材料结构包括多个升高部分。所述升高部分通过凹部隔开。而且，所述多个升高部分具有至少3微米的平均高度。此外，用于制作微透镜阵列的方法包括在第一透镜材料结构和凹部上沉积介电材料，以形成第二透镜材料结构。第二透镜材料结构具有至少1微米的平均厚度。而且，第一和第二透镜材料结构一起形成该微透镜阵列。
Public/Granted literature
- CN103022063A 微透镜阵列及其制作方法 Public/Granted day:2013-04-03
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IPC分类:
