用于形成非晶体导电性氧化物膜的前体组合物和方法
Abstract:
本发明提供一种前体组合物,其用于通过简易的液相工艺来形成显示高导电性、同时即使加热至高温也稳定维持非晶体结构的导电性氧化物膜。本发明的前体组合物含有选自镧系元素(其中,排除铈)的羧酸盐、硝酸盐和硫酸盐中的至少1种,选自钌、铱或铑的羧酸盐、亚硝酰羧酸盐、亚硝酰硝酸盐和亚硝酰硫酸盐中的至少1种,与含有选自羧酸、醇和酮中的至少1种的溶剂。
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