Invention Publication
CN102971807A 用于形成非晶体导电性氧化物膜的前体组合物和方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 用于形成非晶体导电性氧化物膜的前体组合物和方法
- Patent Title (English): Precursor composition and method for forming amorphous conductive oxide film
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Application No.: CN201180034573.0Application Date: 2011-07-08
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Publication No.: CN102971807APublication Date: 2013-03-13
- Inventor: 下田达也 , 李金望
- Applicant: 独立行政法人科学技术振兴机构
- Applicant Address: 日本埼玉县
- Assignee: 独立行政法人科学技术振兴机构
- Current Assignee: 国立研究开发法人科学技术振兴机构
- Current Assignee Address: 日本埼玉县
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 庞立志; 孟慧岚
- Priority: 2010-159475 2010.07.14 JP
- International Application: PCT/JP2011/066165 2011.07.08
- International Announcement: WO2012/008554 JA 2012.01.19
- Date entered country: 2013-01-14
- Main IPC: H01B13/00
- IPC: H01B13/00 ; C01G55/00 ; H01B5/14 ; H01L21/28 ; H01L21/288 ; H01L21/336 ; H01L29/786

Abstract:
本发明提供一种前体组合物,其用于通过简易的液相工艺来形成显示高导电性、同时即使加热至高温也稳定维持非晶体结构的导电性氧化物膜。本发明的前体组合物含有选自镧系元素(其中,排除铈)的羧酸盐、硝酸盐和硫酸盐中的至少1种,选自钌、铱或铑的羧酸盐、亚硝酰羧酸盐、亚硝酰硝酸盐和亚硝酰硫酸盐中的至少1种,与含有选自羧酸、醇和酮中的至少1种的溶剂。
Public/Granted literature
- CN102971807B 用于形成非晶体导电性氧化物膜的前体组合物和方法 Public/Granted day:2016-11-09
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