Invention Grant
- Patent Title: 制作砷化铟/磷化铟量子点激光器有源区的方法
- Patent Title (English): Method for manufacturing active area of indium arsenide/indium phosphide quantum dot laser
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Application No.: CN201210150154.XApplication Date: 2012-05-15
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Publication No.: CN102684070BPublication Date: 2013-09-18
- Inventor: 罗帅 , 季海铭 , 杨涛
- Applicant: 中国科学院半导体研究所
- Applicant Address: 北京市海淀区清华东路甲35号
- Assignee: 中国科学院半导体研究所
- Current Assignee: 江苏华兴激光科技有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区清华东路甲35号
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 汤保平
- Main IPC: H01S5/343
- IPC: H01S5/343

Abstract:
一种制作砷化铟/磷化铟量子点激光器有源区的方法,包括如下步骤:步骤1:选择一磷化铟衬底;步骤2:在该磷化铟衬底上外延生长一层磷化铟缓冲层;步骤3:在磷化铟缓冲层上沉积晶格匹配的铟镓砷磷薄层;步骤4:在铟镓砷磷薄层上外延生长多周期的砷化铟量子点有源层;步骤5:在砷化铟量子点有源层上沉积铟镓砷磷盖层,完成量子点激光器有源区的制备。本发明是在砷化铟/磷化铟量子点生长停顿间隙,通过改变五族保护源流量来抑制As/P互换效应,调控量子点形貌,结合两步生长盖层技术,达到既保持良好光学性能又能调谐发光波长的目的。这种方法可以实现InAs/InP量子点发光波从1.3-1.7微米(μm)宽达400nm的范围内可控调节。
Public/Granted literature
- CN102684070A 制作砷化铟/磷化铟量子点激光器有源区的方法 Public/Granted day:2012-09-19
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