一种基于晶硅的薄膜太阳能电池及其制造方法。所述基于晶硅的薄膜太阳能电池包括：基板；依次位于基板一侧的第一I型半导体层、P型半导体层和第一电极；依次位于基板另一侧的第二I型半导体层、N型半导体层和第二电极；P型半导体层包括多个掺杂离子浓度不同的P型半导体子层，P型半导体子层按照掺杂离子浓度大小依次层叠设置，位于第一I型半导体层表面的P型半导体子层的掺杂离子浓度最小；N型半导体层包括多个掺杂离子浓度不同的N型半导体子层，N型半导体子层按照掺杂离子浓度大小依次层叠设置，位于第二I型半导体层表面的N型半导体子层的掺杂离子浓度最小。本发明可以提高薄膜太阳能电池的光电转换效率。