Invention Grant
CN102317208B 用于纯化甲硅烷的工艺
失效 - 权利终止
- Patent Title: 用于纯化甲硅烷的工艺
- Patent Title (English): Process for purification of monosilane
-
Application No.: CN201080003438.5Application Date: 2010-11-08
-
Publication No.: CN102317208BPublication Date: 2013-12-04
- Inventor: 姜京勋 , 金允准 , 许耕复 , 全文圭
- Applicant: 株式会社KCC
- Applicant Address: 韩国首尔市
- Assignee: 株式会社KCC
- Current Assignee: 株式会社KCC
- Current Assignee Address: 韩国首尔市
- Agency: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- Agent 韩明星; 刘灿强
- Priority: 10-2009-0110518 2009.11.16 KR
- International Application: PCT/KR2010/007838 2010.11.08
- International Announcement: WO2011/059210 EN 2011.05.19
- Date entered country: 2011-05-31
- Main IPC: C01B33/04
- IPC: C01B33/04 ; C01B33/039
Abstract:
提供的是一种纯化甲硅烷的方法。更具体地说，所述方法包括：通过分馏从含有甲硅烷和乙烯的原料中去除杂质(操作1)；通过使在操作1中纯化的原料穿过活性炭来去除乙烯和剩余杂质(操作2)。根据所述方法，可以通过使用活性炭选择性地吸附难以通过分馏分离的乙烯来更简单地且更有效地获得高纯度甲硅烷，而没有另外产生副产物。
Public/Granted literature
- CN102317208A 用于纯化甲硅烷的工艺 Public/Granted day:2012-01-11
Information query
