本发明提供一种柔性衬底硅基薄膜太阳能电池集成内联组件的制备方法，涉及到太阳电池集成内联技术，属于新型能源中薄膜太阳电池的领域。本发明在于根据衬底透光性差及电池为NIP结构，设计电池的内联方式，将激光刻蚀工艺贯穿于硅基薄膜太阳电池制备的流程中，并将丝网印刷技术结合进来，最终获得硅基薄膜电池集成内联组件。有利于使生产提高并降低成本，加快该类型电池的产业化进程；提高大面积电池的开路电压，有利于降低组件拼接的复杂性，提高组件的可靠性。