Invention Grant
- Patent Title: 具有最小均方色调添加器的扫描镜控制
- Patent Title (English): Scanning mirror control having least mean square tone adder
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Application No.: CN200980145706.4Application Date: 2009-09-04
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Publication No.: CN102216829BPublication Date: 2013-09-18
- Inventor: 布鲁斯·C·罗萨尔
- Applicant: 微视公司
- Applicant Address: 美国华盛顿州
- Assignee: 微视公司
- Current Assignee: 微视公司
- Current Assignee Address: 美国华盛顿州
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 谷惠敏; 穆德骏
- Priority: 12/239,711 2008.09.26 US
- International Application: PCT/US2009/056036 2009.09.04
- International Announcement: WO2010/036504 EN 2010.04.01
- Date entered country: 2011-05-16
- Main IPC: G02B26/08
- IPC: G02B26/08 ; G02B26/10
Abstract:
扫描束投影系统(100)包括具有快扫描轴和慢扫描轴的扫描镜(116)。慢扫描扫描镜控制系统(130)对关于慢扫描轴的运动进行控制。控制系统接收用于对镜子的角位移进行描述的位置信息。控制系统的外回路包括最小均方(LMS)色调添加器，该最小均方(LMS)色调添加器用于确定当组合时生成扫描镜驱动信号的谐波相关信号。控制系统的内回路对在由谐波相关信号所占据的频带之内的频率上的扫描镜共振模进行补偿。
Public/Granted literature
- CN102216829A 具有最小均方色调添加器的扫描镜控制 Public/Granted day:2011-10-12
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