本发明涉及质谱分析仪器，具体的说是一种源内碰撞诱导解离的质谱VUV光电离源装置，其包括进样毛细管、离子推斥电极、离子加速电极、真空紫外灯、侧抽阀门、电离源腔体；离子推斥电极与离子加速电极间隔一段距离平行放置于电离源腔体的内部，进样毛细管穿过电离源腔体的外壁，其一端探于离子推斥电极的中心小孔内；真空紫外灯的光发射窗口朝向离子推斥电极和离子加速电极之间的空隙放置；于电离源腔体侧壁上设置有气体出口，侧抽阀门通过管路与气体出口相连。本发明可与任何类型的质量分析器联用，能够同时得到待分析物质的分子量和结构信息，通过源内的碰撞诱导解离还可用来快速分辨同分异构体。