用于等离子体喷射系统的气体分配环组件
Abstract:
一种用于等离子体喷射系统(102)的气体分配环组件(100)包括气体分配环(142),气体分配环(142)包括允许气体通到其内径(148)的多个开口。该组件还包括在气体分配环(142)和等离子体喷射系统(102)的被充电的出口(110)之间与气体分配环(142)沿轴向对准的单独的定位环(144)。
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