本发明涉及测定六氟化硫电气设备中的特征故障气体的方法。具体涉及测定六氟化硫电气设备中的特征故障气体的方法，其包括步骤：i)用气体取样装置从待检测的六氟化硫电气设备中定量采取六氟化硫气体样品；ii)使步骤i)采取的六氟化硫气体样品通过电导率测定装置，该电导率测定装置包括含有定量纯水的电导率测定池和电导率测定仪，所述六氟化硫气体样品通过该电导率测定池中的纯水；iii)测定气体通过并吸收其中特征故障气体后的水的电导率；和iv)根据所测得的电导率确定六氟化硫气体样品中的特征故障气体的量。本发明方法、系统和集成装置可以快速、方便、灵敏地测定SF6电气设备中的特征故障气体。