Invention Grant
- Patent Title: 微机械装置及在其上调节确定温度或确定温度过程的方法
- Patent Title (English): Micromechanical device with temperature stabilization and method for adjusting a defined temperature or a defined temperature course on a micromechanical device
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Application No.: CN200810128792.5Application Date: 2008-04-02
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Publication No.: CN101301992BPublication Date: 2014-08-06
- Inventor: 约尔格·赫布 , 托马斯·克洛泽 , 蒂洛·桑德纳 , 安德列亚斯·贝格曼 , 克里斯蒂安·格维希 , 托马斯·克尼林
- Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
- Applicant Address: 德国慕尼黑
- Assignee: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
- Current Assignee: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
- Current Assignee Address: 德国慕尼黑
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 王波波
- Priority: 102008013098.2 2008.03.07 DE; 102007015719.5 2007.04.02 DE
- Main IPC: G02B26/08
- IPC: G02B26/08 ; G02B26/10 ; B81B7/02 ; B81C1/00
Abstract:
一种微机械装置包括微机械功能结构和与微机械功能结构关联的电磁辐射加热装置，形成该电磁辐射加热装置以在微机械功能结构中产生空间上和时间上的确定温度或空间上和时间上的确定温度过程。
Public/Granted literature
- CN101301992A 微机械装置及在其上调节确定温度或确定温度过程的方法 Public/Granted day:2008-11-12
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