Invention Publication
CN101222968A 通过基于氢的等离子体进行处理的材料净化
失效 - 权利终止
- Patent Title: 通过基于氢的等离子体进行处理的材料净化
- Patent Title (English): Materials purification by treatment with hydrogen-based plasma
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Application No.: CN200680026070.8Application Date: 2006-05-17
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Publication No.: CN101222968APublication Date: 2008-07-16
- Inventor: A·阿列克谢耶瓦 , K·科夫尼尔 , P·奇若夫 , M·拜廷格尔 , Y·格林
- Applicant: 马普科技促进协会
- Applicant Address: 德国慕尼黑
- Assignee: 马普科技促进协会
- Current Assignee: 马普科技促进协会
- Current Assignee Address: 德国慕尼黑
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 李帆
- Priority: 05010689.7 2005.05.17 EP; 05010789.5 2005.05.18 EP
- International Application: PCT/EP2006/004692 2006.05.17
- International Announcement: WO2006/122794 EN 2006.11.23
- Date entered country: 2008-01-17
- Main IPC: B01D53/32
- IPC: B01D53/32 ; C01B35/02 ; B01D53/46
Abstract:
本发明涉及用于从材料，特别是从硼中，通过基于氢的等离子体处理除去氧的净化方法。
Public/Granted literature
- CN101222968B 通过基于氢的等离子体进行处理的材料净化 Public/Granted day:2012-08-22
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