本发明公开了一种用于校准基于微机电系统的传感器的方法和系统(90)。该系统(90)包括：用于在元件之间提供隧道电流的隧道电流激励源(50)；以及用于监测隧道电流响应于至少一个元件的运动而产生的变化的隧道电流监测器(52)。该系统还包括：用于定位其中至少一个元件的定位器(86)；以及与隧道电流监测器进行通信的控制器(88)，用于控制定位器，以便在元件之间的第一间隔定位其中至少一个元件，从而将该系统构造成参考模式，以及在第二间隔定位元件，从而将该系统构造成检测模式，由此该系统相对于该参考模式进行校准。