Invention Grant
CN100475315C 供气方法及其装置
失效 - 权利终止
- Patent Title: 供气方法及其装置
- Patent Title (English): Gas supplying method and system
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Application No.: CN02824130.4Application Date: 2002-12-04
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Publication No.: CN100475315CPublication Date: 2009-04-08
- Inventor: 大见忠弘 , 石原良夫 , 中村章宽
- Applicant: 日本酸素株式会社 , 大见忠弘
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日本酸素株式会社,大见忠弘
- Current Assignee: 日本酸素株式会社,大见忠弘
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 李香兰
- Priority: 369905/2001 2001.12.04 JP
- International Application: PCT/JP2002/012703 2002.12.04
- International Announcement: WO2003/047731 JA 2003.06.12
- Date entered country: 2004-06-02
- Main IPC: B01D53/68
- IPC: B01D53/68 ; B01D53/46 ; C01B23/00 ; H01L21/31
Abstract:
本发明提供了一种在不受废气流量变化以及组成变化影响的条件下，有效地分离精制废气中的有用气体组分并再次供给、而且可以有效地补充所消耗的组分的供气方法及其装置。在回收气体使用设备中排出的废气，分离精制该废气中所含的有用气体组分，将得到的有用气体组分供给到上述气体使用设备中的供气方法中，在从上述气体使用设备中排出的废气中，添加与上述有用气体组分相同组分的补充气体后分离精制有用气体组分。
Public/Granted literature
- CN1599638A 供气方法及其装置 Public/Granted day:2005-03-23
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IPC分类:
